Miroir en céramique de carbure de silicium résistant à la corrosion de semi-conducteur

Brève description:

WeiTai ÉnergieTechnology Co., Ltd.est un fournisseur leader spécialisé dans les consommables de plaquettes et de semi-conducteurs avancés.Nous nous engageons à fournir des produits de haute qualité, fiables et innovants à la fabrication de semi-conducteurs,industrie photovoltaïqueet d'autres domaines connexes.

Notre gamme de produits comprend des produits en graphite revêtus de SiC/TaC et des produits céramiques, englobant divers matériaux tels que le carbure de silicium, le nitrure de silicium et l'oxyde d'aluminium, etc.

En tant que fournisseur de confiance, nous comprenons l'importance des consommables dans le processus de fabrication et nous nous engageons à fournir des produits répondant aux normes de qualité les plus élevées pour répondre aux besoins de nos clients.

Envoyez-nous un e-mail

Détail du produit

Mots clés du produit

Description

La dureté des pièces structurelles en céramique de carbure de silicium est juste derrière le diamant, dureté Vickers 2500 ;En tant que matériau extrêmement dur et cassant, il est très difficile de traiter des pièces structurelles en carbure de silicium.Wei Tai Energy Technology adopte un centre d'usinage CNC.Dans le processus de meulage circulaire intérieur et extérieur des pièces structurelles en céramique de carbure de silicium, la tolérance de diamètre peut être contrôlée à ± 0,005 mm et la rondeur à ± 0,005 mm.La structure céramique en carbure de silicium usinée avec précision a une surface lisse, sans bavure, sans porosité, sans fissure, rugosité de Ra0,1 μm.

Miroir en carbure de silicium, miroir SIC, miroir en céramique de carbure de silicium, miroir léger corps vierge de miroir SiC, miroir en carbure de silicium Wei Tai Energy Technology, miroir SIC, miroir SiC, miroir en céramique de carbure de silicium, miroir léger miroir SIC densité du corps vierge ≥ 3,10 g/cm3 .

cde792f65e16f74683cfc5db4b65420

0e689d00e04d8ba7d6ff2c10553925a

6c8d09f1fdc9351a3ae39041a3e6742

1. La surface de la grande planche est haute et lisse
Taille de panneau de plate-forme d'adsorption sous vide de Wei Tai Energy Technology jusqu'à 1950*3950 mm (au-delà de cette taille, il peut y avoir un épissage).A la planéité et la déflexion, la planéité est généralement contrôlée dans 25 fils, jusqu'à 10 fils ;La valeur de déflexion est inférieure à 10 fils pour 30 kg de force supplémentaire.
2. Un poids léger entraîne un poids lourd
La plate-forme d'adsorption sous vide de Wei Tai Energy Technology utilise une structure en nid d'abeille en aluminium de qualité supérieure, le tout utilisant un matériau en alliage d'aluminium, avec une densité d'environ 25 à 35 kg par mètre carré.Portant 30 kg sans déformation.
3. Grande aspiration uniforme
La conception optimisée de la plate-forme d'adsorption sous vide de Wei Tai Energy Technology peut non seulement garantir que les performances de la plate-forme ne sont pas affectées, mais également rendre l'aspiration de n'importe quelle position de la plate-forme large et uniforme.
4. Résistance à l'abrasion
La surface de la plate-forme d'adsorption sous vide de Wei Tai Energy Technology comporte une variété de processus de traitement, notamment le saupoudrage de fluorocarbone PVDF, l'oxydation positive et l'oxydation dure, qui sont sélectionnés en fonction des besoins réels.Le processus d'oxydation dure est résistant aux éraflures et à l'usure, et sa dureté de surface peut atteindre HV500-700.
5. Personnalisation client
La plate-forme d'adsorption sous vide de Wei Tai Energy Technology peut être personnalisée en fonction des exigences du client, qu'il s'agisse de la taille de la plate-forme, de l'ouverture et de la distance, de la zone d'aspiration, du diamètre d'aspiration, du nombre d'orifices d'aspiration, du mode d'interface ou de toute cloison, avec ou sans aspiration.